產品特點： -自動驗證關鍵晶圓載具尺寸 -靈活操作各種晶圓盒 -易於操作 -非接觸式測量 使用效益： -可依照客戶需求進行客製化 -自動化機台提升工作產能 -減少人員觸碰而造成晶圓損傷 -減少晶圓沾染Partical
