金屬剝離去膠機

分類: 清洗系列

描述

描述

應用領域

光阻去除
外延片
金属剥离
助焊剂清洗

工藝指標

PR去除率：100X光學顯微鏡下無殘留
剝離能力：含dry etch後的polymer /Hard PR/Dry film

控溫精度：RT~85±0.5℃
顆粒物控制：≤30ea@0.12um
破片率＜1/100000

晶圆尺寸

100mm
150mm
200mm
300mm

設備配置

最多4個Load port
最多2個Soaking tank
最多8個Spin chambers
配備高壓+二流體噴淋系統