單晶圓刻蝕清洗機

分類: 清洗系列

描述

描述

應用範圍

Pre Clean
PR-Strip
Recycle
Metal etch
Solvent etc.

工藝指標

颗粒物去除率＞96%
Adder＜30ea@0.08um
破片率＜1/100000

晶圆尺寸

100mm
150mm
200mm
300mm

設備配置

最多4個Load port
最多12個清洗腔體（單/雙層）
可雙面洗（晶面/晶背）
最多5組不同化學液同時清洗
最多4個回收環分別回收廢液
配備二流體高壓High-Jet噴淋系統