全自動FOUP Clean for FOPLP

分類: 清洗系列

描述

描述

工藝參數

PA adder≤300ea@0.3um
LPC with 0.5um remove rate＞95%
FPH≥12ea/H

適用工藝

TGV/Glass Core
F/O Panel Level Packaging

應用範圍

510×515 FOPLP Panel FOUP

510×515 FOPLP Panel FOUP