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自動尋邊器 ( Auto Notch Flat Finder )

產品功能： -主要使用於晶圓缺角/平邊對齊輔助工具 -應用範圍於半導體,光電等產業 -使用於進出貨前晶片晶圓對齊 -檢查晶圓,降低邊緣缺角等問題 產品特點： -單鍵操作，安全性高 -電子式控制系統，提高晶圓對準精度 -8組角度可做設定，可自行設定任一角度 -ESD靜電防護功能 -依客戶提供的Cassette樣式客製化